高精度可调量程电感式位移传感器测量系统

本文根据电感传感器量程、灵敏度、分辨率和精度之间的关系,以AD598AD芯片为基础设计了电感传感器的后续处理电路。该电路配以数据采集卡和上位机采集程序,搭建了高精度可调量程的电感式位移传感器测量系统。经试验分析验证,测量误差可减小至0.74μm。