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ZrN及其多层膜的性质和耐腐蚀性能 总被引:12,自引:0,他引:12
用磁过滤电弧制备了ZrN和ZrN/TiN多层膜,磁控溅射制备了ZrN薄膜。结果表明,ZrN/TiN多层膜,由于纳米多层化作用,硬度高于ZrN和TiN的26GPa和2lGPa,平均值达到34.5GPa。X射线衍射分析表明,ZrN/TiN多层膜由ZrN和TiN组成。过滤电弧制备的ZrN和ZrN/TiN多层膜的结合力为8lN和77N,磁控溅射制备的ZrN薄膜的结合力为26N。极化曲线的结果显示,过滤电弧制备的ZrN和ZrN/TiN多层膜的耐腐蚀性显著优于磁控溅射制备的ZrN薄膜,讨论了两种方法制备薄膜性能差异的原因。 相似文献
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过滤电弧抑制薄膜中颗粒机理的实验分析 总被引:6,自引:0,他引:6
讨论利用直线型过滤电弧制备TiAlN薄膜中,过滤磁场作用于弧斑、靶中毒现象,电子和离子的回流和叠加偏压等因素影响作用的大小进行了实验分析.结果表明,磁场对弧斑分裂和弧斑运动速度的综合作用最为显著是由于直线型过滤电弧形成的瓶颈磁场造成的电子和离子的回流,以及直流叠加脉冲偏压形成的放电空间的等离子体磁撞,分解和离化的所起的共同作用的结果.这对于控制电弧离子镀沉积薄膜中的颗粒尺寸和颗粒密度,指定合理的工艺参数有一定的指导作用. 相似文献
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一引言
1.生产管理系统建设的必要性
中海石油建滔化工有限公司建设的60万吨/年甲醇项目是目前国内单套生产能力最大的甲醇装置,采用了横河的现场总线控制系统Centum CS3000。现场总线控制系统在公司的生产操作过程中发挥了极其重要的作用。但是,这些系统都是工业控制系统,各种实时生产数据只能停留在生产控制、操作层面上,所有生产管理需要的数据报表并没有实现自动采集发布,没有充分的发挥将生产操作和生产管理的数据信息组成统一的数据链,达到数据资源的共享和有效利用。 相似文献
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