四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用

在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性,使得该工艺用于微压传器器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计,膜区厚度为１０μｍ,制造出的微压传感器灵敏度为５０ｍＶ／３ｋＰａ．１ｍＡ。端点法非线性为０．５％。     

高精度4英寸硅片腐蚀装置

高精度4英寸硅片腐蚀装置是采用微机械制造技术(MEMT)和微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一。它采用计算机智能控制，一次可自动完成多片4英寸硅片的各向异性腐蚀，无需人工控制，腐蚀一致性好、效率高。结合攻关项目的研究成果重点介绍了高精度4英寸硅片腐蚀装置的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点及设备的主要关键技术，并给出了设备的性能测试指标一     

乘ITIL快车疾驰而过——ITIL助IT外包实现目标

A公司是一家专业从事IT外包的公司,因为缺乏一套提纲契领性的东西,市场人员难以准确描述IT外包业务的内容和目标,业务实施人员也有摸着石头过河的感觉。为此,A公司找到一家专门从事IT服务管理咨询的K公司。K公司根据A公司的情况,为其制订了一套业务目标,A公司围绕这一目标,在逐步完善自己的业务。     

切忌IT与业务貌合神离——如何建立IT服务管理愿景

一个着手实施连续服务改进项目(CSIP，The Continuous Service Improvement Program)的IT组织，通过像一个企业那样建立一个包括目标、预算和评价标准的愿景，可以帮助他们明确自己的位置，更好地在成功道路上前进。     

转动IT服务的罗盘——谈IT服务报告策略

在IT服务管理过程中,产生及时、可靠、准确、双方认可的报告,以支持决策制定和有效的沟通是非常重要的。服务报告(Service Reporting)对IT服务中所有可衡量的方面,提供当前或历史的分析。这一工作主要包括:制定符合客户需求的服务报告策略;产生“服务报告”(Service Report);核对产生的报告,确保报告的质量。 “服务报告”的主要内容包括: ◆关于已发生事件的“被动报     

LaK_6、ZK_(11)光学玻璃防腐剂的试验与应用

本文叙述了对LaK_6、ZK_(11)光学玻璃防腐剂的试验与应用情况,介绍了防腐机理、防腐剂的筛选、生产考核及其在生产厂应用的良好效果。