显微CT精密运动平台定位精度优化

为提高显微CT精密运动平台定位精度,以精密运动平台Z轴载物台为执行机构,提出直接对永磁同步电机轴到Z轴载物台进行控制的全闭环伺服控制系统并建立电机轴到Z轴载物台的数学模型。分析矢量控制技术,研究无速度传感器技术对速度的估计,搭建电机矢量控制无速度观测器仿真模型,验证其可行性。位置环采用线性自抗扰技术进行优化,通过MATLAB仿真,验证了线性自抗扰技术可以提高位置环的定位精度。