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通过分析光伏生产线上下料的现状,指出扩散工序上下料的难度,以及扩散工序上下料的必要性。本文主要介绍了扩散工序上下料设备的主要结构设计,包括篮具校正系统、机器人吸取片系统、硅片校正系统、石英舟系统组成、电气控制系统等,并分析了关键技术及解决方法。  相似文献   
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等离子清洗机的主要原理是利用清洗时高能电子碰撞反应气体分子,使之离解或电离,利用产生的多种粒子轰击被清洗表面或与清洗表面发生化学反应,从而有效地清除各种污染物。针对此,主要使用ANSYS有限元分析软件对批量式等离子清洗机与在线式等离子清洗机反应仓的气流和电磁场进行了仿真分析。实验结果表明,在线式等离子清洗机具有清洗效果好,清洗后不会产生有害污染物、效率高、节省劳动力和安全可靠等优点,具有更广泛的市场前景。  相似文献   
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