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通过分析光伏生产线上下料的现状,指出扩散工序上下料的难度,以及扩散工序上下料的必要性。本文主要介绍了扩散工序上下料设备的主要结构设计,包括篮具校正系统、机器人吸取片系统、硅片校正系统、石英舟系统组成、电气控制系统等,并分析了关键技术及解决方法。 相似文献
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