外腔半导体激光器大尺寸无导轨测长研究

利用平面镜外腔半导体激光器和连续调频波技术,进行了大尺寸无导轨测长研究。给出了10m测量范围内的实验结果。     

X射线干涉仪中单晶硅微动工作台的研制

目前国际上Ｘ射线干涉仪所采用的微动工作台均采用对称式柔性铰链结构,其缺点是侧 滑角大,严重影响干涉信号的对比度,很容易产生干涉条纹的记数误差。为此提出了非对称结构微动工作台的设计思想,并引入有限元方法进行了结构参数优化,研制了整体式Ｘ射线干涉仪。理论分析和实验表明：利用非对称结构研制的Ｘ射线干涉仪,分析器的侧滑角显著下降,干涉信号的对比度大大提高,更适合Ｘ射线干涉纳米测量的要求。     

用多模半导体激光器实现动态定位的研究

提出了一种新的半导体激光定位技术。它利用多模半导体激光器的光谱分布引起的干涉条纹的强度分布来确定等光程差点。干涉仪体积小，信号处理简单，系统性能稳定，可以在大范围内捕捉零点。     

用于纳米测量的扫描X射线干涉技术

介绍扫描Ｘ射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义,阐述了该技术的基本原理,全面介绍了国外在该领域的研究现状,并对影响纳米测量的扫描Ｘ射线干涉技术的主要因素进行了分析。     

在线表面粗糙度外差干涉仪中测量信号的自动电压控制

光外差表面粗糙度在线干涉测量仪中，待测表面粗糙度的差异，使得从待测表面返回的测量信号在幅度上有很大的起伏，而使表面粗糙度测量结果的精度大大降低。本文着重讨论了测量信号的自动电压控制的原理及设计中的考虑，所制作的自动电压控制电路输入信号峰-峰值的动态范围1mV～5V，输出信号峰一峰值最大变化小于±10mV。结出了实验结果。     

超精加工表面粗糙度的激光测量仪

研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路干涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力．仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。     

采用激光扫描与CCD探测系统的大型工件平行度垂直度测量仪

研制出一种采用激光扫描与ＣＣＤ探测系统的大型工件平行度、垂直度测量仪，它以稳定的准直激光束为测量基线，配以回转轴系，旋转五角棱镜扫出互相平行或垂直的基准平面，将其与被测大型工件的各面进行比较。在加工或安装大型工件时，可用本仪器测量面间的平行度及垂直度，本认识采用ＣＣＤ光电探测系统及单片机，直接测出被测点相对于基准平面相应点的高度变化值，最后由计算机根据高度变化值算出平面度、平行度及垂直度，仪器的测     

软X射线激光全息术及其计算机模拟仿真

软Ｘ射线激光全息术采用短波长Ｘ射线激光光源，从而可获得空间分辨率很高的三维全息图，但目前它还存在许多问题。用计算机来模拟仿真提供了一种有力手段。本文采用方块、英文字母、汉字等作样品，对无透镜傅利叶变换软Ｘ射线激光全息术作了模拟仿真，其结果和可见光全息实验及理论都相符合。     

用于X射线干涉纳米测量的微动工作台的有限元分析

Ｘ 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－ ８ｒａｄ量级,侧滑角为１０－ ６ｒａｄ量级,为此设计了对称式高精度微动工作台,并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析,旨在找出影响其性能参数的主要因素,进而实现微动工作台的优化设计     

测量激光高反射镜散射率的激光散射仪

本文介绍了激光散射仪的测量原理、仪器结构及测量误差分析。仪器实际测量结果:灵敏度为4×10_(-6),相对测量精度优于±10%。