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n+p组合结构臭氧气体传感器研究 总被引:1,自引:0,他引:1
n+P型半导体气体传感器是基于气体传感器互补增强原理的一种新结构半导体气体传感器。该种传感器是由两种传导类型不同的敏感体A和B构成,A是n型半导体材料,B是P型半导体材料。理论分析表明:当敏感体A和B满足一定条件时,该种传感器灵敏度高、热稳定性好,在理论的指导下,通过实验和比较,获得了性能较好的n+P组合结构臭氧敏气体传感器。实验结果与理论分析符合得很好。 相似文献
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