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锆钛酸铅(PZT)厚膜的制备技术是制作基于PZT厚膜的微传感器和微驱动器的关键技术之一.传统的制备方法难以兼顾厚膜制备中对厚度、性能、工艺复杂度以及成本等方面的要求,因此,提出了一种新的利用气雾化湿法减薄体材料制备PZT厚膜的技术.该技术结合传统的PZT湿法化学刻蚀方法和刻蚀雾滴的物理轰击效应,在反应中实时去除化学反应残留物,在减薄前后样品厚度均匀性几乎不变的情况下,平均刻蚀速率可达3.3μm/min,且工艺过程简单,成本低廉.实验结果表明,用该技术制备的PZT厚膜可满足微机电系统(MEMS)领域中微传感器和微致动器对于厚膜具备较高灵敏度和较大驱动能力的性能要求, 相似文献
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合理的盾构选型是保证盾构安全顺利施工的基础。本文以北京地铁8号线三期王府井站~前门站区间为工程背景,针对北京地区少有的深埋、高水压、富水卵石地层,通过对比邻近已有工程的施工情况,确定了盾构类型及刀具布置,对盾构推力、刀盘扭矩、开挖舱泥水压力进行了计算,并与盾构实际施工参数进行对比,结果表明,泥水平衡盾构在北京地区的深埋富水地层具有一定适用性,撕裂刀与切刀的组合布置有效适用于该地层;实际施工参数与理论或经验计算结果较为吻合,同时均保持在盾构机的额定配置范围以内。为类似深埋地层的盾构选型提供一定的借鉴和指导作用。 相似文献