半导体P—N结温度传感器失效分析与改进措施

通过失效形式，分析了半导体Ｐ－Ｎ结温度传感器的失效机理，介绍了为降低内应力而进行的设计和工艺改进。     

半导体流动量传感器

该传感器是利用热传导和热耗散的原理,采用半导体平面工艺研究制造的。介绍了该传感器的结构原理、制造工艺、开发应用等,是一种很有发展前途的流动量传感器。