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以硅通孔(TSV)为核心的2.5D/3D集成技术是未来高密度封装的主导技术,但是现有的TSV制备技术需依赖高难度的技术和昂贵的设备。提出了一种通孔双面分步填充工艺,先将通孔的一端电镀封口,然后再从另外一端进行电镀填充。此方法避免了难度很高的大深宽比孔中的种子层制备和自底向上的电镀工艺,降低了加工难度。通过工艺改进解决了狭缝缺陷和凸起/空洞缺陷问题,得到了无孔隙的填充孔径为30μm、孔深为300μm、深宽比为10∶1的TSV阵列。通过电学实验测量了所得TSV的电阻。实验结果证明了其填充效果和导电能力,为实现超小型化封装提供了新的技术思路。 相似文献
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伺服电机驱动的连铸结晶器非正弦振动控制相比于目前现场采用的电液伺服驱动控制具有较多优点,但两种驱动方式的控制系统通常采用以高性能控制器作为控制核心的集中控制方式,如果控制器某一部件出现故障,将影响所有连铸流的正常工作,存在一定的安全风险。针对此问题,提出了一种伺服电机驱动的连铸结晶器非正弦振动集散控制系统设计方案,针对多流连铸生产过程进行集散控制系统总体设计及上下位两级计算机控制系统的设计,每一连铸流由一台西门子高性能运动控制器SIMOTION D425单独控制,各流相互独立、互不影响,从而可避免集中控制器某部件故障而影响所有连铸流生产的情况,提高了系统的安全性、可靠性。最后通过试验研究验证了所设计的集散控制系统的可行性。 相似文献
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应用子结构法建立了一种UPS型6自由度并联机床及其部件的有限元实体模型,并通过模态实验和有限元模态分析对有限元实体模型进行了验证.应用有限元法对机床模型进行了谐响应分析,获得了机床各节点沿机床虚拟x、y、z轴向的位移谐响应曲线.在此基础上,对该并联机床谐响应规律进行了分析,明确了该机床谐响应的特点和响应幅度的数量级,为该类机床的结构优化设计提供了理论依据. 相似文献
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基于Pro/E的管道喷涂机器人运动仿真分析 总被引:2,自引:0,他引:2
利用ProE/Mechanism的运动仿真功能,模拟实现了冗余多自由度管道喷涂机器人手臂在S型管道内的运动特性。模拟仿真过程中通过输入由机器人逆运动学计算所得的手臂关节关键点的相对坐标,实现了机器人手臂按照规划路径运动的设计要求,从而检验出手臂是否与管道碰撞,为喷涂路径的优化提供了重要参考,最终实现了对机器入喷涂效果的最优化控制。 相似文献
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正山东省食品欺诈和虚假宣传整治工作开展以来,全省各级各有关部门深入开展整治工作,取得了阶段性成效,整体形势保持平稳,有力保障了消费者合法权益和消费安全。据了解,食品、保健食品欺诈和虚假宣传整治工作依托食安、农安、公安"三安联动"机制,加强部门协调配合,持续保持严惩重处高压态势,查处违法案件341起,侦办生产、销售有毒有害保健食品犯罪案件1264起。山东省公安厅根据阿里巴巴通报 相似文献
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BKX-I型并联机床动力学分析 总被引:1,自引:0,他引:1
应用子结构法建立了一种UPS型6自由度并联机床及其部件的有限元实体模型,并通过模态实验和有限元模态分析对有限元实体模型进行了验证.应用有限元法对机床模型进行了谐响应分析,获得了机床各节点沿机床虚拟x、y、z轴向的位移谐响应曲线.在此基础上,对该并联机床谐响应规律进行了分析,明确了该机床谐响应的特点和响应幅度的数量级,为该类机床的结构优化设计提供了理论依据. 相似文献
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