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本文介绍的扫描电镜表面电位信号引出器可以代替计算机,以模拟减法将表面是民位信号引出,引出器的分辨率为6mV,可提供的测量范围为6mV-8V。 相似文献
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梁显鉴 《仪表技术与传感器》1989,(2):34-37
本文叙述了透射电子显微镜(TEM)扫描电子显微镜(SEM)及X射线能谱仪(EDS)等目前的现状及其发展趋势。 相似文献
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叙述了用于压力传感器的石英谐振膜片的原理。介绍了石英谐振膜片的设计和工艺。对这种新型压力敏感元件的性能及有关问题作了讨论。 相似文献
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扫描电镜的常规操作,一般使用10~30KV的加速电压工作。但在常规电压下,导电性能不良的样品必须镀以导电膜层,然而有些材料,例如半导体集成电路,在生产过程中不允许将其镀上导电膜层,要检测这些材料,就不能采用常规电压操作,而必须采用低电压操作。1低电压显微的优点 扫描电镜的低电压显微具有如下优点: (1)减少或消除样品的充电效应,可直接观察不镀导电膜层的半导体或绝缘体材料。 (2)样品的辐照损伤小。 (3)增强样品的表面形貌和成分反差。因为低电压下,二次电子大部分来自入射区附近的表层,而且背散射电子产… 相似文献
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