非接触玻璃厚度测量系统

该文研究了一种基于迈克逊干涉仪原理的非接触玻璃厚度测量系统。利用样品前后表面反射回来的探测光与参考臂的反射光发生干涉产生弱干涉信号,并用信号处理模块对弱干涉信号光进行差分放大,再对其进行带通滤波、包络解调等,从而得到玻璃厚度。系统还利用了直线电机控制反射镜实现光程的变化,并对待测物纵向深度信息进行高速循环式探测,从而实现了对玻璃厚度的高速、高精度、循环式测量。该系统适用于平板玻璃、光学镜片等玻璃制品厚度的高精度测量。