太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨

介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据.利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标.     

高产能晶体硅太阳能电池制绒设备及工艺研究

制绒工艺作为晶体硅太阳能电池生产的重要环节,电池厂商在要求保证工艺质量的前提下,希望能扩大单台设备的产能。介绍了一种用于太阳能电池制绒设备及该系统中关键部件制绒槽和移载机械手。该系统结构简单,控制效果良好,通过对工艺的研究该系统能满足100 MW生产线的生产要求。     

扩散炉自动上下料系统安全性设计

介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模电池片生产要求。     

晶体硅太阳能电池生产线外围设施建设经验漫谈

中国电子科技集团公司第四十八研究所是国内最早从事晶体硅太阳能电池整线交钥匙工程的单位,在国内已完成了几十家太阳能整线的建设。整线建设包括生产线设备的配置、安装,外围设施建设(厂房设计,净化间施工,水、电、气的设计施工),工艺调试,投产。其中外围设施建设的重要性往往被人们忽视。作者通过承担几条生产线的整线设计,参与了外围设施设计并在现场跟踪施工全过程,直至整线交付。在外围设施建设过程中发现了一些可修改的设计问题,在此提出来与大家分享。     

扩散炉反应管压力自平衡系统的设计

对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从而控制管内压力,使管内流速均匀,达到好的扩散效果。     

MC-DTC系统的无速度传感器控制算法研究

对于无速度传感器的研究主要针对电动机的矢量控制系统,而应用于直接转矩控制(DTC)系统很少.本文研究基于矩阵变换器(MC)直接转矩控制系统(MC-DTC)应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术.讨论了无速度传感器的直接计算方法和模型自适应方法,重点讨论了速度自适应辨识方法与满足系统融合要求的控制策略.仿真实验表明,速度自适应辨识速度高于直接计算精度,动态响应好.同时能发挥MC和DTC的优势,成为一种高性能的交流调速系统.     

采集瞬时无功作为辅助变量的直接转矩控制

在参考模型自适应(Model Reference Adap- tive System-MRAS)理论基础上讨论了二种转速观测法,提出了一种以电机的瞬时无功作为辅助变量,鲁棒性良好的新型MRAs速度估汁方案。该方法能较好地解决电机参数变化对调速精度和系统稳定性影响的问题,仿真结果证明了该方案的有效性。     

基于MC-DTC的速度辨识仿真与实验研究

基于矩阵变换器(MC)直接转矩控制系统(MC-DTC)应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术讨论了速度自适应辨识方法与满足系统融合要求的控制策略.仿真和实验结果表明系统动态响应好,同时能发挥MC和DTC的优势,是一种高性能的交流调速系统.     

基于矩阵变换器的异步电机直接转矩控制研究

为了降低谐波污染,实现异步电动机的高性能控制,提出了一种基于矩阵变换器(Matrix Converter,简称MC)供电的异步电动机器直接转矩控制(DTC)系统和控制方法。基于电机控制专用DSP芯片TMS320LF2812A研发了一套矩阵变换器的交流电动机DTC试验系统。实验得到了较为理想的结果,验证了其可行性。     

高温外延炉温度控制的设计与应用

针对碳化硅外延工艺过程中温度控制精度对外延膜厚均匀性影响较大,本文介绍了一种用于感应加热碳化硅高温外延炉及温度控制系统。通过分析碳化硅外延工艺对温度控制的要求,设计了一套温度控制系统。在国产碳化硅外延设备上进行验证,实验结果表明温度控制系统具有较快的响应速度和较低的超调量,效果良好,能满足碳化硅高速外延需求。