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1.
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3.
Wafer curvature method has been applied to determine the internal stress in the films using Stoney’s equation. During the film deposition, the wafer fixation on the sample holder will restrict the deformation of the rectangle-shaped wafer, which may result in the stress datum difference along length and width direction. In this paper, the effect of wafer size and the wafer fixation on the TiN film internal stress measured by wafer curvature method was discussed. The rectangle-shaped wafers with different length/width ratios (L/W=1:1, 2:1, 3:1 and 4:1) were fixed as a cantilever beam. After the TiN films deposition, the profiles of the film/wafer were measured using a stylus profilometer and then the internal stress was calculated using the Stoney equation in the film. The results showed that the fixed end of the wafers limited to some degree the curvature of the wafers along the width direction. For film internal stress measured by wafer curvature method, the wafer profile should be scanned along the length direction and the scan distance should be greater than or equal to half of wafer length. When the length/width ratio of the wafer reached 3:1, the wafer curvature and the calculated stress were basically the same at different positions along the length direction. For film internal stress measured by wafer curvature method, it was recommended that the length/width ratio of wafer should be considered to be greater than or equal to 3:1, and the deformed profile was scanned along the length direction. 相似文献
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针对广播系统与认知系统共存场景下的认知用户接入问题,提出一种适用于698806MHz频段的认知MAC协议。该协议以分布式的方式对授权信道侦听,认知用户之间以协调的方式共享信道侦听结果,并采用基于竞争的方式接入空闲授权信道。利用蒙特卡洛仿真方法对所提出的协议进行了仿真。仿真结果表明,与传统MAC协议相比,该协议能够有效提高授权频段的频谱利用率,提升系统性能。 相似文献
5.
卫星物联网是未来6G网络重要组成部分,在地面部署可重构智能反射面(Reconfigurable Intelligence Surface, RIS)则能进一步增强天地之间信号的传输能力;然而海量设备的接入和检测,以及RIS的引入带来的较高复杂度,给系统设计与实现带来挑战。针对卫星物联网设备和业务稀疏特性,本文提出了一种基于压缩感知的信号重构算法,旨在提高系统的接入用户数和检测成功率,同时降低检测的复杂度。首先,介绍了RIS辅助的卫星物联网系统架构,构建了天地信道模型和星上接收信号模型。然后考虑到卫星物联网地面终端的稀疏性和业务的稀疏性,结合稀疏码分多址(Sparse Code Multiple Access,SCMA)和压缩感知的信号处理方法,通过合理设计SCMA中的稀疏码字,将多用户检测转化为压缩感知理论中的信号重构。最后提出了一种演进的近似消息传播算法(Evolved Approximate Message-Passing,EAMP)来实现压缩感知中的信号重构。仿真结果表明,RIS辅助的SCMA系统与功率域的非正交多址接入技术相比可以提高系统的吞吐量性能,同时EAMP算法相比传统的SIC算法具有更高的正确检测概率和更低的算法复杂度。 相似文献
6.
DirectSound声音编程接口技术探讨 总被引:2,自引:0,他引:2
本文结合笔者的开发使用实例,阐明DirectSound这一重要声音编程接 口的基本使用方法,具有普遍实用的意义。 相似文献
7.
基于MAX1457的传感器智能化温度补偿的实现 总被引:1,自引:0,他引:1
MAX1457是一种专用传感器信号处理器,它可以补偿硅压阻式传感器的温度误差和非线性误差,使传感器总的重复性精度达到0.2%以内。MAX1457对传感器进行温度补偿时需要经过一系列操作步骤和参数的选择计算。本文分析了MAX1457的工作原理和补偿过程。在此基础上开发的温度补偿软件,可以实现参数的自动计算,自动调整,补偿的每一个操作步骤均辅以向导式的提示。该系统的使用使得MAX1457对传感器的温度补偿过程大为简化。 相似文献
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9.
主要介绍了如何用Delphi语言调用MatLab引擎、Delphi和MatLab程序进行数据交换的方法。它可以使用Del phi语言开发的程序有更强的数据处理功能。 相似文献
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