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KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究 总被引：2，自引：0，他引：2
介绍了利用激光ＬＩＧＡ工艺中的激光深层光刻技术对紫外光刻胶进行深层光刻的实验研究成果，对远紫外激光与光刻胶相互作用的机理进行了讨论，给出了ＫｒＦ准分子激光刻蚀紫外光刻胶的能量阈值以及激光能量密度与刻蚀深度的关系曲线，最后对方法的应用前景及进一步改进的设想进行了讨论。 相似文献
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从光学线宽测量光强阈值理论、总体方案、精度分析计算等方面介绍了CDMS—1型电视线宽测量仪的总体设计。 相似文献
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准分子激光深层光刻蚀在 LIGA 工艺中的应用 总被引：2，自引：1，他引：1
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计,并将该装置成功地应用于LIGA工艺的深层光刻中,光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意义。 相似文献
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本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS-1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS-1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。 相似文献
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文章介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并根据该设计思想进行了可行性原理实验，取得了较好的结果。 相似文献
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