压电陶瓷微进给工作台的设计及其实验研究

本文论述了一台由电致伸缩陶瓷制动器驱动的微进给工作以的研制过程，设计了工作台的主体结构，预紧力机构及密封装置，并利用高等材料力学和有限元法优化了主要变形元件，通过ＨＰ５５２８Ａ激光测距系统对其特性进行了测试，工作台最大行程１６μｍ位移分辨率小于０．１μｍ重复定位精度０．１μｍ。