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机械仪表
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1
1.
基片负偏压对PEMSIP法高速钢基体TiN涂层结合力的影响
总被引:1,自引:1,他引:1
王玉魁
韩会民
高路斯
王传思
刘云月
《机械工程材料》
1995,(2)
利用等离子体增强磁控溅射离子镀技术,在高速钢基体上沉积TiN之前先镀一层很薄的钛膜做界面膜,继之再沉积TiN。利用能谱分析研究界面附近的元素成布,通过刻痕试验测定膜与基体之间的结合力。结果表明,沉积钦界面膜时基片负偏压愈大,基体与界面膜之间的过渡区就愈明显,膜与基体结合性能愈好。
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