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首次将等离子体作为敏感元件应用于微机械陀螺仪中,取代目前微机械陀螺仪中所采用的固体、液体或气体等元件。利用气体放电产生的等离子体朗缪尔流效应来使敏感元件产生一定速度的运动,不需另外的驱动元件。介绍了等离子体朗缪尔流效应,探讨了应用朗缪尔流效应的新型微机械陀螺仪的原理,根据Langmuir-Drugvesteyn理论推算朗缪尔流速度可达到6 m/s,给出了该新型微机械陀螺仪的微加工与封装方案和工艺参数优化试验系统。 相似文献
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许多MEMS元件需要在真空条件下才能保持良好的性能,采用真空电阻凸焊技术可以达到相当好的真空密封效果.真空电阻凸焊预压阶段采用不同凸焊筋角度和不同预压力对凸焊最终质量都有很大的影响.根据MEMS元件凸焊的具体情况,建立了一个二维有限元凸焊模型,通过时不同预压力和不同角度凸焊筋顶角的有限元接触分析,得出不同预压力和凸焊筋顶角的凸焊筋塑性变形和接触压力分布状况等结果,并通过分析结果得出预压力和凸焊筋顶角对预压变形和接触应力分布的影响规律.文中的结果为凸焊机理研究和MEMS元件凸焊封装外壳的优化设计打下了良好的基础. 相似文献
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介绍用16位单片机对AD9854的控制,包括对AD9854外部电路的构建,对各个控制寄存器的设置,对幅度、相位、频率控制字的计算等等。并且还对具体的设置进行了举例说明,使得对AD9854的使用,更加的一目了然。 相似文献
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选用垂直于其表面的射频磁场对镀金膜的硅片进行了感应加热,由于磁场对材料加热具有选择性,感应热量首先作用于硅片上的金膜内,硅片先被传导加热到一定温度,然后被感应加热.理论上分析了该方法的可行性,初步试验结果表明,虽然金膜厚度低于感应趋肤深度,但在没有应用感应加热基座的情况下,几秒钟内就形成了金硅共晶相.另外,升温速度快,有效减少了加热过程中金对硅的扩散影响,该方法可广泛用于微系统封装中的圆片键合. 相似文献
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不同分散剂中碳纳米管的定向操控技术 总被引:2,自引:0,他引:2
利用介电电泳可以实现悬浮液中碳纳米管的定向操控.碳纳米管可以用表面活性剂和有机溶剂进行分散.对比了表面活性剂(十二烷基苯磺酸钠,黏滞系数为1.312mPa·s)和有机溶剂(二甲基甲酰胺,黏滞系数为0.802mPa·s),发现表面活性剂悬浮液中碳纳米管的溶解和分散效果好于有机溶剂中的溶解和分散效果,能实现单根分散.根据介电电泳原理,悬浮液中的碳纳米管在外加电场诱导下产生极化从而被驱动;分析了表面活性剂悬浮液和有机溶剂中碳纳米管的定向效果,发现有机溶剂中碳纳米管的定向效果好于表面活性剂悬浮液中的效果,表面活性剂悬浮液的黏滞系数大是阻碍外加电场有效定向操控碳纳米管的原因. 相似文献
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