单片扫描QCM阵列的封装及浸液中频率稳定性

研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器，研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式，研究了器件在单边触液条件下的工作特性。阵列器件采用扫描工作方式，分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态，使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态，避免了单元器件间的振动耦合。实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示，阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h，液相平均频率稳定度达到±0.4×10-6/h。     

基于SMA的微夹持系统实验研究

微夹持技术是微器件装配的关键技术之一。采用柔性铰链机构设计了三自由度微夹持操作平台，并进行了有限元仿真模拟分析；利用形状记忆合金原理进行设计并研制了环状微夹钳，通过形状训练达到了双程形状记忆效应，并建立了微夹持力计算模型；对微夹持系统的运动精度进行了试验分析，结果表明：该系统沿X，Y，Z方向的位移分辨率达0．01μm，微夹持钳最大张开量达0．2mm，基本满足了系统性能要求。     

单片扫描QCM阵列的封装及浸液中频率稳定性

研究了一种适用于液相化学和生物量检测的单片扫描式QCM阵列传感器,研究了器件的封装及其在液相条件下的工作稳定性。采用单边封闭的封装方式,研究了器件在单边触液条件下的工作特性。阵列器件采用扫描工作方式,分时激励阵列中的各单元器件依次进入谐振工作状态,使某一时刻仅有一个单元器件处在工作状态,避免了单元器件间的振动耦合。实验制作的单片扫描式QCM阵列传感器试验结果显示,阵列器件中各单元器件的气相平均频率稳定度达到±0.2×10-6/h,液相平均频率稳定度达到±0.4×10-6/h。     

用于液相生物量检测的单片阵列QCM传感器

设计并制作了一种单片集成的阵列式QCM(石英晶体微天平)传感器,介绍了设计思想和方法,用网络分析仪对实验器件进行了分析.阵列传感器设计成分时扫描激励的工作模式,通过选通电路对阵列各单元进行扫描激励,实现各单元的依次工作,避免了各谐振器单元之间可能的振动耦合,从而可以在单个石英晶片上集成尽可能多的器件.该阵列式QCM传感器加工工艺简单,频率一致性好,平均频率稳定度达到±0.2ppm/h.