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机械仪表
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1
1.
有限元法计算膜厚均匀性收
阴晓俊
费书国
章月州
孔志坤
《光学仪器》
2001,23(6):5-10
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
相似文献
2.
有限元法计算膜厚均匀性
总被引:2,自引:2,他引:0
阴晓俊
费书国
章月州
孔志坤
《光学仪器》
2001,(Z1)
利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性 ,分析了均匀性的影响因素 ,指出了工艺中的调整方法
相似文献
1
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