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针对星载紫外遥感仪器的长期稳定性和高测量灵敏度的要求,讨论了一种背景扣除技术——数字同步累加解调技术,实现了对太阳紫外光谱测量系统的背景噪声的实时扣除.采用了真空光电管和高精度稳流源实时校正光电倍增管及其放大器的增益,介绍了实现该方法的电子学系统构成及设计中应注意的关键问题,比较了用该方法和常规方法所得的测量结果,证明该系统的测量灵敏度可比倍增管的暗噪声提高一个量级. 相似文献
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模块式光电多光谱扫描仪已成功地用于1993年4月至5月德国空间实验室D2飞行任务上,在纬度为±28.5°的范围内,对面积近七百万平方公里的地段成象。该相机系统的突出特点是具有三个观测方向的沿着轨道的立体成像。有两种主要立体成像模式,两者都使用了三种不同的光学系统在三个方向上进行立体成像。立体成像模式1将偏离星下 相似文献
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叙述了用光学反射法在线监测LSI等离子及反应离子刻蚀过程和终点的监测原理与具体实施。所设计的仪器获得了优于80Å的动态监测精度及小于0.3cm2的最小监测面积。比较了用光学反射法和等离子发射光谱法得到的监测结果, 指出了影响光学反射法监测精度的因素, 提出了切实可行的解决办法。 相似文献
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介绍了由作者研制的光谱范围从365至12000nm的高精度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量,在小于2600nm和大于2600nm的波长范围内分别获得了优于±3×10-6和±5×10-5的折射率测量精度。 相似文献
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锗的红外折射率精密测量 总被引:2,自引:1,他引:1
利用所研制的KGZ-Ⅱ型高精度光电折射仪,在5~10.6μm的光谱范围内,测量了由北京有色金属研究总院研制的锗的折射率,并与红外色散公式计算的结果进行了比较,分析了影响测量准确度的各项主要因素,给出了具有±3×10-4准确度的测量结果。 相似文献
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计算机控制的高精度光电折射仪 总被引:2,自引:2,他引:2
介绍了在该仪器上测量折射率值小于1.76和大于1.76的两种测量方法,给出了以计算机为核心的宽光谱高精度折射率全自动测量仪的基本组成、主要误差源和测控软件的一级数控流图,用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量并给出了部分测量结果,结果表明:在365.0nm至2600nm和2600nm至10600nm的波长范围内分别获得了优于±3×1-0 6和±2×1-0 4的测量精度。 相似文献
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本文叙述了LSI和VLSI离子刻蚀工艺过程及终点监测的重要性以及发射光谱和激光反射干涉法的终点监测原理,锁相放大技术在PIE和RIE工艺过程监测中的应用。给出了整机电子学框图和该机用于实际生产线所监测的结果。 相似文献
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模块式光电多光谱立体扫描器MOMS-02在技术上是使用推扫原理并在1983年和1984年成功地用在STS-7和STS-11/41-B航天飞机的飞行任务中的第一个空间仪器MOMS-01的继续。装在第二个德国空间实验室任务D2由航天飞机STS-55发射的MOMS-02于1993年4月26日至5月6日之间采集的数据在地球科学领域里具有很好的使用价值。高空间分辨率、多光谱和体视画面数据的同对采集使得主题和地貌信息的实际组合成为可能,因此可借助遥感技术来考虑改善地球表面的动态变化的校验和判断。 相似文献
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大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测──等离子发射光谱法 总被引:1,自引:1,他引:1
文章叙述了大规模集成电路(LSI)等离子和反应离子刻蚀原理及在线监测刻蚀过程的基本方法。详述了用等离子发射光谱法进行LSI离子刻蚀过程监测的具体实施和实验结果,得到了80Å的动态监测精度和0.3cm2的最小可监测面积。最后文章还讨论了影响监测精度的因素。 相似文献