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随着高分辨率产品导入,TFT-LCD阵列段各项参数范围越来越小,工艺要求更为严格,为了更好地管控湿法刻蚀各项参数,本文以湿法刻蚀FI CD(Final Inspection Critical Dimension)均一性的影响因素及如何提高FI CD均一性为目的进行研究。首先,通过对湿法刻蚀设备参数(主要包括刻蚀液温度、流量、压力、浓度、Nozzle Sliding、Oscillation Speed、刻蚀时间等)进行试验,验证各项参数对FI CD均一性的影响。其次,对沉积工序、曝光工序以及产品设计等进行试验,获悉影响因素并进行改善。通过对湿法刻蚀设备自身参数的调整,如减少设备温度、流量、压力波动,使参数保持相对稳定状态,可有效改善湿法刻蚀FI CD均一性,FI CD的均一性可从1.0降低至0.5。通过对湿法刻蚀设备参数进行试验并做相应调整,湿法刻蚀FI CD均一性改善效果显著。 相似文献
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客厅绿化装饰能起到美化客厅环境、净化空气和调节客厅小气候的重要作用,因此在家庭装饰过程中,客厅绿化越来越受到重视.客厅绿化装饰应当遵循与客厅空间大小相协调、与客厅的色彩相协调、突出植物生态习性等原则. 相似文献
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简述了晃电产生的原因及其影响,分析了目前常用的几种抗晃电措施的原理及各种不同方式的优缺点。对于化工装置中一些非常重要的低压电动机负荷,通过增加再启动集中控制装置系统应对"晃电"现象的发生,并与相关设备配合使用,保证了重要低压电机的连续运行。 相似文献
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本文观察一种自主研发的新型利器盒,用于降低护理人员针刺伤发生率干预后的效果观察。采用整群抽样法,选取2020年1~12月7个病区在岗护理人员126人使用原有利器盒为对照组,选取2021年1~12月7个病区在岗护理人员132人,应用新型利器盒进行分拣损伤性锐器为实验组。对比使用2种利器盒后护理人员发生针刺伤的情况;对比护理人员对治疗操作后一次性医疗废弃物分拣的正确执行率、依从率。结果显示对照组护理人员126人使用原有利器盒,针刺伤的发生为22次,发生率为17.46%;实验组护理人员132人使用新型利器盒,针刺伤的发生为9次,发生率为6.82%。两组比较,差异有统计学意义(P<0.05)。对照组护理人员对治疗操作后一次性医疗废弃物分拣的正确执行率76.98%、依从率为81.75%;实验组护理人员对治疗操作后一次性医疗废弃物分拣的正确执行率97.72%、依从率为98.48%。两组比较,差异有统计学意义(P<0.01)。由此可知应用新型利器盒能有效降低护理人员针刺伤发生率,同时有效提高护理人员治疗操作后的医疗锐器废弃物分拣正确执行率,依从率,值得临床应用推广。 相似文献
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