显影单元腔室内流场结构分析与优化

匀胶显影设备中温湿度控制器（THS）为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成DownFlow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染。由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态。文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期。     

涂胶显影机的产能设计

涂胶显影机的产能设计是一个重要部分,通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时间参数、工艺传递周期时间参数等核心参数的设计,有效地配置工艺处理模块的数量及位置、工艺传递晶圆的速度及路线,搭建出目标机台内的工艺模块组成架构,确定出目标机台内的各个机器人技术参数,满足与光刻机联线生产的量产涂胶显影机对产能的技术需求。     

基于通用旋转组合设计的热板参数分析

光刻工艺中对热板表面温度场均匀性有极高要求,在热板设计参数选择问题上,通过使用通用旋转组合设计的方法,利用ANSYS仿真模拟软件,得到不同设计参数情况下的热板表面温度场均匀性数据。对仿真结果数据进行回归建模,回归模型计算结果与仿真结果有较高的一致性。结果表明,热板设计参数可以根据该回归模型来选择。     

一种新型电力线杆警示标识自动喷涂装置的设计

电力线杆警示标识在实际喷涂作业中一般采用人工喷涂,使用自制涂料进行喷刷或者是利用粘贴的方式进行作业.这种作业方式存在作业速度慢、效率低、施工成本高且影响建筑美观等缺点.为解决上述问题,设计了一种新型电力线杆警示标识自动喷涂装置.该装置结构简单,喷涂效率高,喷涂过程中可实现车机一体作业,既可避免涂料的损失,又无需吊车设备...