基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻

为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。     

水泥混凝土路面病害的形成原因及处治

针对水泥混凝土路面病害的形成原因，从接缝挤碎、胀缝拱起、错台、沉陷、断缝、孔洞、磨光的处治等方面，提出了病害的处治措施，以提高水泥混凝土路面的质量。     

公路质量检测新技术

阐述了试验检测是指导和评定工程质量的科学依据，介绍了填土压实检测新技术和平整度检测新技术的检测方法，以尽快了解、掌握新技术，确保工程质量，延长公路使用时间。