晶圆制造系统实时调度仿真平台的设计与实现

在对一般的制造系统仿真的共性进行抽象分析和建模基础上,依据晶圆制造系统的特点,采用面向对象技术开发了晶圆制造系统实时调度仿真平台。平台采用c样编写,内嵌离散事件仿真引擎,封装了晶圆制造系统仿真程序大部分功能,预定义了部分可扩展方法模块,提供了可调用的接口。该平台实现了晶圆制造系统的仿真,对晶圆制造系统调度以及优化方向的研究提供很大帮助。