消应力消偏振胶合棱镜二向色膜的设计与制备

根据薄膜的偏振效应,运用Essential Macleod光学薄膜设计软件,完成DVD棱镜中消偏振二向色膜的设计,并采用光控法精确控制膜层厚度,制备出了满足客户要求的消偏振分光棱镜。残余应力大的薄膜容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能。为了消除薄膜应力,从膜料之间应力匹配关系及制备工艺2个方面,提出了控制薄膜应力的设计思想,并对其影响进行了讨论,利用镀膜前后光圈变化来反映膜层应力的大小。制备过程中,通过设计制作可调工装来改变镀膜有效孔径,通过调节标准块来满足非常严格的镀膜有效孔径要求。本文给出了该棱镜的消偏振膜系的设计和试验结果。