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论述了在硅基板上用热灯丝法制备金刚石红外增透保护膜的工艺,通过多灯丝法、预打磨处理以及加偏压等方法得到了特性优良的金刚石薄膜,并利用对金刚石薄膜─硅板体系红外透射率的曲线拟合,推知了一系列不易直接测量的特性参数,如折射率,吸收系数,薄膜厚度等。 相似文献
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磁控溅射制备薄膜时,工作气体氩气的压强是一个非常重要的参量,氩气压的高低直接影响薄膜的结构形态,这在制备超薄多层膜过程中显得更为重要。利用高频辅助溅射沉积,可使工作气体的压强降低1个数量级,从实验和理论上给予了阐述。最后从巨磁电阻振荡效应方面,对所制备的磁性多层膜的界面状况进行了分析。 相似文献
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