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对超精密加工及纳米加工环境的分析 总被引：2，自引：0，他引：2
介绍了超精密加工技术概要 ,对超精密加工以及纳米加工的支撑环境进行了归纳 ,并分别阐述了支撑环境中温度、湿度、洁净度及振动几个环境因素 ,最后给出了保证其支撑环境的一般性措施 相似文献
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