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设计了一个新颖的三自由度微动定位平台,用于补偿现有宏定位平台的定位误差。通过柔性铰链柔度公式计算出放大比,用ANSYS仿真软件分析出机构的固有频率,通过一些开环实验得到的数据可以证明该3-RRR微动平台具有较好的性能。 相似文献
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