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纵弯式压电微马达驱动机理研究 总被引:2,自引:0,他引:2
分析了纵弯式压电微马达驱动机理,建立了纵弯式压电微马达输出功率与驱动臂的倾角、长宽比之间的相位差及压紧力关系的数学模型,为纵弯式压电微马达的优化设计奠定了基础。 相似文献
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纵弯式压电微电机研究 总被引:1,自引:1,他引:0
分析了纵弯式压电微电机的驱动机理,提出了电机驱动臂的设计方法。研制了直径为5nm的纵弯式压电微电机并进行了实验研究。 相似文献
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分析了重力-弹力耦合驱动压电微电机的机理并给出了其运动学模型。制作了转子直径为0.433mm的压电微电机并实验验证了运动学模型。 相似文献
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微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成高度的特点。近十年来,在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。 相似文献
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串联弯曲臂压电微电机机理初步研究 总被引:1,自引:0,他引:1
把两片压电双晶片(PZT Bimorph)串联在一起,构成串联弯曲臂.一端固定,另一端自由时,在相位差为π/2的一定频率的方波信号驱动下,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹.以串联弯曲臂为驱动元件,可用来驱动与其端面相接触的转子转动,构成串联弯曲臂式压电微电机.本文将对串联弯曲臂的驱动机理进行分析,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上,研制了串联弯曲臂压电微电机的样机,并且对样机的性能参数进行测试,转速可以达到110rpm,输出转矩可以达到22.5μNm. 相似文献