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纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对准,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本.纹膜结构有降低和消除膜内应力的作用,而纹膜的三维结构使麦克风电容的有效面积有所增加,这些都显著地提高了麦克风的灵敏度,是该项新结构的关键.本文从理论和实验上对纹膜结构机械性能与结构尺寸参数之间的关系,及结构的优化进行了研究.通过对制作出的不同结构参数q值的麦克风的测试,得到了与初步理论分析基本相符的实验结果.实验证明,纹膜结构具有比相应的平膜结构高得多的机械灵敏度和麦克风 相似文献
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阐述了当前青岛市城市供热的状况.通过对不同能源供热的技术经济比较和对天然气的特性以及国内外开发应用情况的分析,结合青岛天然气规划状况,认为青岛市采用天然气是一种适宜的供热方式. 相似文献
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青岛引进天然气以后的供热方式探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
阐述了当前青岛市城市供热的状况.通过对不同能源供热的技术经济比较和对天然气的特性以及国内外开发应用情况的分析,结合青岛天然气规划状况,认为青岛市采用天然气是一种适宜的供热方式. 相似文献
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超低温冻结制冷系统采用的双级压缩制冷循环,其容积比、能效比以及各相关参数的调整直接影响制冷系统的区别效率。文章从理论分析出发,结合实际生产中的调整方案,希望能为超低温双级制冷压缩循环系统的运用提供一些依据。 相似文献
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本文研究了硅表面微机械加工薄膜的形成工艺及技术。通过调整各种薄膜生长、掺杂以及退火的条件,得到了较低的薄膜残余应力(LPCVD多晶硅膜30MPa压应力,LPCVD富硅氮化硅帮PECVD氮化硅膜约100MPa张应力,Al膜在30MPa范围内由压应力到张应力变化)。另外,采用了复合膜和纹膜技术,用于大幅度地降低薄膜应力,取得了预计的结果。 相似文献
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设计了双区厌氧反应器:下部污泥膨胀区在强水力作用下,消除了UASB的配水问题,加强了传质和预处理能力,刺激了厌氧微生物的生长和颗粒化进程;上部精处理区颗粒污泥生长条件好.实现了2.3倍的UASB反应器容积负荷.现场毒性试验表明:双区厌氧反应器比IC反应器受毒恢复更快. 相似文献
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双区厌氧反应器的开发与试验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
设计了双区厌氧反应器:下部污泥膨胀区在强水力作用下,消除了UASB的配水问题,加强了传质和预处理能力,刺激了厌氧微生物的生长和颗粒化进程;上部精处理区颗粒污泥生长条件好.实现了2.3倍的UASB反应器容积负荷.现场毒性试验表明:双区厌氧反应器比IC反应器受毒恢复更快. 相似文献
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本文提出一种新型的微型硅电容式麦克风结构及制造方法:单硅片纹膜结构及制造方法,首次实现了纹膜麦克风的制作,对这种结构的麦克风进行了初步设计并制造了一系列结构尺寸的微麦克风。实现了麦克风电容两极板有效区域的自对准。 相似文献
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