冲击测量应用中MEMS加速度计趋势项去除方法研究

由于MEMS加速度计具有对超低频加速度的幅频响应敏感的特性,在冲击信号测量应用中,MEMS加速度计测量的冲击信号会出现低频趋势项,使冲击速度和位移分析结果严重失真。本文基于实例研究了经验模态分解（Empirical Mode Decomposition, EMD）、自适应噪声集合经验模态分解（Complete Ensemble Empirical Mode Decomposition with Adapitive Noise,CEEMDAN）和变分模态分解（Variational Mode Decompostion, VMD）提取趋势项和重构冲击信号的工程应用方法。研究结果表明：对比EMD和CEEMDAN方法,在使用MEMS加速度计的冲击测量系统中采用VMD进行趋势项信号去除更为有效,固有模态函数不会产生模态混叠,可以准确还原冲击信号。     

新型硅-铝-硅结构MEMS加工技术及应用

提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术.采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刻蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS器件的加工.该技术已成功应用到MEMS光开关及其他MEMS器件的制作中.     

一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器

介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的动态衰减范围≥50dB,插入损耗≤0.8dB,回波损耗≤-45dB,波长相关损耗≤0.2dB,偏振相关损耗≤0.25dB,响应时间＜1 ms.