多线摇摆往复式线锯切割加工运动的理论及试验研究

多线摇摆往复式切割加工因其切割效率高和加工精度好的优点,现已逐渐成为硬脆材料晶圆的主要切割方式;分析了多线摇摆往复式切割加工中三个主要的运动方式,建立了多线摇摆往复式切割加工运动的理论模型,推导了线锯摇摆切割过程中的材料去除率(Q)和单位长度新线材料去除体积(R)的理论计算公式;理论分析了加工工艺参数对Q和R的影响规律;从加工运动学的角度提出了固定R的线锯切割新构想,并逆向推导了晶圆切割过程的相关工艺参数变化曲线;通过与工厂现有加工工艺的线锯切割试验比较,证实本文所提出的线锯切割新构想能有效地提高晶圆切割质量。     

多线往复式线锯切割中单位长度材料去除量的理论分析与试验研究

线锯切割被广泛地应用于光伏和微电子行业及其他硬脆材料的切割加工,所切晶片的质量影响后续研抛等工序的加工。建立了多线线锯往复运动与进给运动的理论模型,提出单位长度材料去除量的概念,推导出多线往复线锯切割中,单位长度材料去除量随加工位置变化的理论模型。理论分析了单片用线量及进给速比对单位长度材料去除量的影响规律。以蓝宝石晶棒为锯切研究对象,进行了不同的锯丝单片用线量以及不同进给速比条件下的锯切试验,测量了切割片的加工质量。研究结果表明,多线往复式切割过程中,单位长度材料去除量随加工过程有明显的变化,单片用线量及进给速比对单位长度材料去除量有明显的影响,单位长度材料去除量对线锯切割质量有着显著的影响。