用于SPM技术的多维纳米定位系统

扫描探针显微术是微观表面探测的关键技术,而多维定位系统是其重要组成部分.介绍了扫描探针显微技术中典型纳米级定位系统的结构、组成及其驱动技术,如压电驱动、静电驱动以及磁悬浮驱动等,分析了柔性支承微动机构的设计,并对本领域的研究热点和发展方向进行了总结和探讨.     

基于BP神经网络的二维精密扫描台控制技术及试验研究

扫描控制系统是纳米测量系统的重要组成部分,其性能影响整个系统的测量精度。本文介绍了二维精密扫描台的设计——柔性铰链与压电控制结合的方式,综述了BP神经网络的概念,并通过BP神经网络建模,设计了扫描台的控制方法,最后介绍了试验设备,并通过试验测试得到了最佳控制参数,验证得到建模控制方案与实际位移相吻合。     

用于二维精密定位工作台的微位移机构设计

微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一.本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析.