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通过对传统对中方法中的百分表法的测量原理进行研究,建立了一种基于单LD-PSD的激光对中测量数学模型,并对该数学模型的测量原理进行了推导。按照此数学模型,在选取2个不同的转角、测得PSD上光斑的坐标后,就能够推算出两轴之间的对中偏差,得到两轴之间的相对位置关系。 相似文献
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通过对传统对中方法中的百分表法的测量原理进行研究,建立了一种基于单LD-PSD的激光对中测量数学模型,并对该数学模型的测量原理进行了推导。按照此数学模型,在选取2个不同的转角、测得PSD上光斑的坐标后,就能够推算出两轴之间的对中偏差,得到两轴之间的相对位置关系。 相似文献
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