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MOCVD反应器内部气体流动模拟分析 总被引:3,自引:0,他引:3
以金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.通过应用GAMBIT软件划分复杂模型的基础上,对新颖的反应器的输运过程进行了二维数值模拟的研究,计算了反应器中流场的分布.根据对模拟结果的分析可知,在低于常压和反应器进口距加热器距离较小的工况下,反应器内的输运过程比较稳定,满足制备薄膜所需的层流特征. 相似文献
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介绍了敏捷制造模式下的装配工艺设计系统的原理与体系结构 ,对系统中装配信息的获取、装配工艺知识库的建立、装配顺序的决策以及装配仿真的实现等几个模块进行了具体的分析 相似文献
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敏捷制造模式下的计算机辅助装配工艺设计系统的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了敏捷制造模式下的装配工艺设计诉原理与体系结构,对系统中装配信息的获取,装配工艺知识库的建立,装配顺序的决策以及装配仿真的实现等几个模块进行了具体的分析。 相似文献
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