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金属薄膜电阻温度传感器的结构设计探讨(一)   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文分析了金属薄膜电阻温度传感器的工作原理,据此探讨了传感器的结构设计要点,并对初步实验结果进行了讨论。  相似文献   
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本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。  相似文献   
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金属薄膜电阻温度传感器的结构设计探讨(二)   总被引:1,自引:0,他引:1  
2.图形设计 图形设计主要是决定金属薄膜线条的几何尺寸,用l表示线条长度,d表示线条宽度,h表示金属薄膜的厚度,则传感器的额定阻值(R_0)可表示为:R_0=ρl/dh(10)式中ρ——金属薄膜的电阻率 以铂薄膜电阻温度传感器的设计为例,铂的电  相似文献   
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