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1
1.
用锡盘抛光 α-Al
2
O
3
单晶的初步实验研究
总被引：2，自引：0，他引：2
陈俊盼
高宏刚
《光学精密工程》
1997,5(5):69-72
概述了抛光α-Al
2
O
3
单晶的意义、介绍了用锡盘抛光α-Al
2
O
3
单晶的实验装置、描述了抛光实验过程、研究了抛光时间和抛光液酸碱度对工件表面粗糙度的影响。通过改变抛光时间及抛光液pH值,可使α-Al
2
O
3
单晶工件表面粗糙度优于0.4nmrms.
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