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介绍了用X射线反射测量术表征双层薄膜中低原子序数材料特性的方法。由于低原子序数材料的光学常数与Si基板材料的光学常数非常接近,用X射线反射法确定镀制在Si基板上的低原子序数材料膜层结构的变化十分困难,因此,提出了在镀制低原子序数材料前,首先在基板上镀制一层非常薄的金属层的方法。实验中,选用Cr作为金属层材料,制备并测试了三种不同C膜镀制时间的Cr/C双层薄膜。反射率曲线拟合结果表明,C膜密度约为2.25 g/cm3,沉积速率为0.058 nm/s。 相似文献
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最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响 总被引:3,自引:3,他引:0
选用能制备小周期的钨/硅(W/S i)作为膜层材料对,着重研究最小膜层厚度对X射线非周期多层膜光学性能的影响。基于矩阵法计算多层膜反射率和单纯形数值优化方法,设计了入射光子能量为8.0keV,掠入射角的宽度分别为0.85°~1.10°,1.40°~1.70°的X射线超反射镜。结合实际实验制备技术,考虑了W/S i两种膜层材料的最小成膜厚度,确定了膜堆中最小膜层厚度为0.5nm~1.0nm。通过改变最小膜层厚度的值,优化设计了上述条件下的非周期多层膜并对其光学性能进行比较。结果表明:同一个工作波长下,随着多层膜工作角度(掠入射)的增加,膜堆中膜层的厚度减小,最小膜层厚度对其光学性能的影响增加,其光学性能变差。 相似文献
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用直流平面磁控溅射方法在抛光玻璃衬底上淀积 Mo薄膜 ,将薄膜在真空环境中进行热处理 ,用扫描探针显微镜 ( SPM)方法观察了薄膜的表面形貌 ,X-射线衍射方法分析了薄膜中应力各向异性特征及其与淀积时溅射气体压强和真空热处理的关系。发现薄膜中晶粒具有明显的择优取向 ,内应力沿径向对称分布 ,切向应力比径向应力更具有压应力特性 ,应力的各向异性特征与溅射原子的入射方向有关。真空热处理对薄膜中压应力的释放作用不明显 ,然而能有效地释放薄膜中的张应力。用 HF酸腐蚀衬底的方法制备了自支撑 Mo薄膜 ,发现脱膜前后薄膜表面微观形貌未产生大的变化。 相似文献
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OH^—和氧离子杂质在BaF2晶体辐照损伤的影响 总被引:2,自引:1,他引:1
从理论和实验两方面研究OH^-和氧离子杂质为BaF2晶体辐照损伤的影响,并对其机理进行讨论,理论上用HFS-DVM-Xα)局域密度离散变分法计算OH^-和氧离子杂质心在BaF2中的电子结构,得到OH^-,Hs^-(U心),Os^-,Os^2-和(Os^2--F^+)都可能是引起辐照损伤的源泉。实验发现,BaF2晶体水解处理后,OH^-和氧离子杂质很容易进入BaF2,在晶体中的存在形式主要是:OH^ 相似文献
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5月15日,南通电信10000客户服务中心接到通知,要求紧急调集人员,承接绵阳114话务,确保生命线畅通。10000号迅速抽调15名话务员,成立了一线支援小分队,和号百中心的同事们共同承接绵阳114话务。经过短暂的培训,中午12时,10000号支援小分队就已坐上台席,开始承接绵阳114话务。大家的心中只有一个想法:排除万难,帮助灾区人民,通过我们的转接,接通他们的生命线。 相似文献
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正房建项目管理是一个复杂的过程,房建施工企业的最终目标是实现最大化经济效益,成本便是最终效益的决定因素,但是企业在工程项目的成本控制方面却很薄弱。随着国家经济的快速发展,房建施工企业如何以房建项目管理为中心,提高工程质量,保证工程进度,降低项目成 相似文献
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X射线激光Nd,Dy,Er和Yb薄膜靶表面氧化过程的石英晶振方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用电子束蒸发方法在抛光玻璃衬底上分别制备了X射线激光用的稀土元素Nd ,Dy ,Er和Yb薄膜靶。用石英晶片作为陪片 ,通过测量晶振频率的方法研究了薄膜靶在真空、干燥空气及潮湿空气等不同环境中不同阶段的氧化层增长过程。发现除Yb薄膜在淀积结束后的干燥空气和潮湿空气环境中的氧化过程遵循倒对数规律之外 ,其它所有的氧化过程均可用对数规律很好地进行拟合。淀积结束后充入大气时 ,薄膜表面的快速氧化过程仅为数分钟。在相同的环境中 ,Nd氧化速率最高 ,Er和Dy其次 ,Yb最低 ;在不同的环境中 ,Nd受环境湿度的影响最大 ,Er和Dy其次 ,Yb最低。 相似文献