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针对厚膜微压力传感器的特点,介绍了基于ADuC824的智能厚膜微压力变送器的硬件设计和软件设计,并对变送器的非线性和温度补偿方法进行了探讨,结果表明:利用单片机的强大功能,实现了智能变送器的非线性校正、零点和温度补偿,具有电路结构简单、稳定性好、误差小、测量精度高等特点。 相似文献
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本文采用厚膜传感技术研制电容式感压元件,并通过厚膜混合集成技术和工艺交叉将信号处理电路集成在感压元件上成为一体,进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表明,研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器,线性达到0.5%,迟滞小于0.5%,重复性好。具有受分布电容、寄生电容影响小,抗干扰能力强,精度高,抗过载、耐腐蚀等特点。 相似文献
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本文概述厚膜力敏传感器的原理和技术特点以及国内外10多年来研究、开发的概况。重点介绍了目前国内厚膜力敏传感器的性能及应用。探讨了加快我国厚膜力敏传感器技术创新和产业化的若干问题及建议。 相似文献
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阐述了厚膜力敏浆料基本配方和工艺,传感器设计及有关原理。並对厚膜电阻(TFR)工艺条件对力敏特性的影响和关系进行了一些探讨。对研制成功的传感器主要性能指标及开发应用前景也作了介绍。 相似文献
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研制了一种可用于应变式厚膜力传感器,量程达500N的新型陶瓷双孔梁。该弹性梁采用95%Al2O3瓷热压铸成型加工。应变电附为钌酸盐厚膜电阻,并直接印烧在弹性梁上。 相似文献
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介绍一种可用于称重与测力的电阻应变式厚膜力传感器.其弹性体采用95%Al_2O_3陶瓷双孔梁、应变电阻为钌酸盐厚膜应变电阻,并运用厚膜工艺将应变电阻直接印刷、烧结在弹性体上而形成整体.它的量程最高达500N,精度为0.05%,工作温度达-40~ 120℃. 相似文献
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厚膜HIC技术在集成传感器研究中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文从传感器集成化及其特点、厚膜HIC技术在集成传感器研究中的作用,技术优势以及国内外状况等方面综述了厚膜HIC技术在传感器集成化研究中的应用,并介绍了笔者研制的厚膜集成压力传感器的有关情况。 相似文献