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一、前言随着工业和科学技术的发展,对各种气体纯度的要求愈来愈高。这就需要有相应的分析工具,以检测纯气中的杂质。五十年代末,开始出现有关氩离子化检测器的报道,由于这种检测器受本身性能的限制,不能直接用来测定永久性气体,后来出现了氦离子化检测器。1966年Hartmann和Dimick提出一种平板型结构的氦离子检测 相似文献
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