退火对溅射沉积ITO膜电学性能的影响

运用直流磁控反应溅射技术在氮气和氧气气氛下，以In（90wt％）－Sn（10wt％）作为靶材，基体处于自然升温状态下沉积ITO膜。在空气中，选用200℃，250℃，300℃，350℃，400℃保温20min，对ITO膜进行退火处理。这里着重研究溅射气氛及退火条件对膜的方块电阻的影响。     

射频通信技术在农业机器人中的应用

无线射频技术与机器人的结合应用正在日益发展,对RFID技术在农业机器人无线控制和导航中的应用进行了介绍,开发了一种基于射频技术的无线数传模块,分别给出了无线控制系统和RFID导航系统的整体设计,并重点阐述了它们的原理和结构。该系统可有效提高机器人的自主性和灵活性。     

CrMo合金膜的俄歇线形分析

对Ａｒ气氛下射频溅射所镀铬钼合金膜，订不同组分配比的俄歇电子能谱，经平滑，扣除本底处理，得出随铬钼对比例改变的变化规律。根据俄歇电子跃迁的准原子模型，对谱峰进行血线拟合，得出铬钼合金膜并各相的单纯机械混合，基金上层电子发生了某种转移，利用高斯曲线对所得俄歇峰按成分比进行面积归一化，细致分析后得出钼的Ｎ２３轨道电子数增多，钼的Ｍ４５，Ｎ１，Ｎ２３和价带发生变化及移动，并且有一些３ｄ电子从Ｃｒ转移到Ｍ     

CrMo合金膜的俄歇线形分析

对Ar气氛下射频溅射所镀铬钼合金膜，采集不同组分配比的俄歇电子能谱，经平滑、扣除本底处理，得出随铬钼相对比例改变的变化规律。根据俄歇电子跃迁的准原子模型，对谱峰进行曲线拟合，得出铬钼合金膜并非铬钼的单纯机械混合，其外层电子发生了某种转移，利用高斯曲线对所得俄歇谱拟合后，对每个俄歇峰按成分比进行面积归一化，细致分析后得出钼的N_(23)轨道电子数增多，钼的M_(45)，N_1，N_(23)和价带发生变化及移动，并且有一些3d电子从Cr转移到Mo的4d轨道上。而且运用带非负约束的退卷积和退自卷积等新的分析方法，首次利用AES获得了几种不同配比CrMo合金膜的价带态密度分布。