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1 引言 光电传感器是指利用光电效应作为传感原理的传感器件,它主要由光源、光学通路、光电探测器等部分.光源发出的光照射到待检测的目标物体上,被目标物体调制后被光电探测器所接收. 相似文献
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考虑到铝材料的应用在微电子等众多领域中的重要地位以及由于这类材料质地的柔软性而引起的制样困难 ,为了在几十纳米线度的水平上观察分析铝材料内部微结构状况及其变化规律 ,在分析、比较了目前常用的几种铝材料内部微结构观察分析的制样技术的基础上 ,介绍一种利用聚焦离子束技术 (Focused ion beam,FIB)来对铝引线进行制样与观察分析的方法 ,并得出了一些初步结果。 相似文献
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