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微谐振器是微机电系统中应用最广泛的器件之一,由于加工工艺和环境潮湿等原因,在微间隙结构中常常会有液体存在,从而产生液体粘性阻力,对可动部件的运动、微器件性能的发挥产生影响.通过液体粘性阻力的分析,建立了上平板做简谐振动的微间隙液体粘性阻力模型,进行了理论计算及仿真分析.结果表明:液体粘性阻力随着平板振动的频率、最大振动速度、流体密度、流体动力粘度以及平板面积的增大而增大,而仿真分析得出的边界层厚度和流体对平板的剪切应力与理论值基本符合. 相似文献
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隔离器中气流组织将直接影响洁净效果,针对采用顶送侧回通风方式的隔离器灌装段,为解决其局部区域气流分布不合理问题,提出对回风管进行优化的方式,进行模拟与分析.结果表明,在原有的基础上,通过在回风管内部靠近回风口的地方加设挡片的方式,能够在管路阻力变化不大的情况下,改变了回风管上各回风口的流量的比例,使其趋于一致,减缓了气流流线的倾斜,缩小工作区速度及流线倾角的波动范围,改善了内部气流分布,实现比较理想的气流组织,从而保障药品生产环境. 相似文献
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