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1.
本文提出一种MEMS传感器,单片集成温度和气压的检测单元。该传感器采用SOI硅片的上层硅作为压阻薄膜,因此各管芯的薄膜厚度有良好的一致性。传统的背面体硅腐蚀方法未被采用,因为碱性溶液腐蚀体硅会在<111>面自停止,形成57.4°的斜坡,从而增大管芯面积,取而代之的是ICP深硅刻蚀。片上集成两个PN结,结区面积呈比例,可以实现温度检测功能。测试表明在-40-100℃之间都有良好的线性度,PN结的离子注入工艺与压阻注入工艺完全兼容,减少了工艺成本。 相似文献
2.
高校学科竞赛是提高理工科大学生专业实践能力的有效手段,也是推动大学生从事创新创业活动的重要途径。全国大学生集成电路创新创业大赛,自2017年始由工信部人才交流中心创办,是集成电路领域唯一入榜赛事。鉴于大赛的大部分的题目由集成电路企业给出,因此它是典型的产学融合的竞赛。本文将从产学融合深化工程教育改革的角度,结合华南理工大学微电子学院多年来对学生参与集成电路设计大赛的实践经验,阐述大赛对深化产学融合和提升学生创新创业能力的积极作用,以及如何在“新工科”背景下以竞赛为载体推进产学融合培养具有创新能力的复合型人才型人才进行了探索。 相似文献
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作为深圳一家厨房电器产品专业经销商,莱其俪利用厨房电器的组合概念推广,分别从烟灶消热等品牌中选择出自己认为最好(质优、利润回报较高)的产品,将之如合在一起,以厨房电器组合概念推向市场。着重推广环保、节能、实用、方便等卖点,采取店面营销、网络营销、团购等多种销售 相似文献
8.
渤海渤中19-6围区北部构造储层埋深超过4 500 m,平均钻井深度大于5 500 m,目标层位太古界潜山岩性为花岗片麻岩,岩体抗压强度最高超过200 MPa,地层研磨性强,机械钻速仅1~4 m/h,严重制约了区块的高效开发。为提高目标区块钻井效率,基于机械比能理论,从钻进过程能量守恒角度,分别建立了钻压、扭矩、破岩以及摩擦的做功表达式,并进一步建立了破岩过程的能量输入输出平衡方程。实际应用结果显示,该能量平衡方程能够利用待钻地层的基础参数给出合理的钻压区间,推荐的最优化钻压与实钻吻合良好,预测的机械钻速米平均误差为8%,表现出良好的适用性,可为后续深井、超深井钻井作业优化提供设计依据。 相似文献
9.
This paper proposes a novel miniature dual-functional sensor integrating both pressure and temperature sensitive units on a single chip.The device wafer of SOI is used as a pizeoresistive diaphragm which features excellent consistency in thickness.The conventional anisotropic wet etching has been abandoned,while ICP etching has been employed to etch out the reference cave to minimize the area of individual device in the way that the 57.4°slope has been eliminated.As a result,the average cost of the singl... 相似文献
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