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磁控反应溅射中氮分压对含氮钽薄膜结构与性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
实验研究了平面磁控反应溅射中氮分压P_(N2)与沉积所得的含氮钽薄膜的结晶相结构和薄膜的电阻率ρ、电阻温度系数TCR之间的相互关系。发现随着P_(N2)的增加,结晶相结构的变化依次为β—Ta(四方),α—Ta(体心立方)、Ta_2N(六方)和TaN(四方)。在P_(N2)=(2.6~5.3)×10~(-2)Pa范围内,TCR—P_(N2)曲线出现平坦区,此时的TCR=-(50~100)ppm/℃,对应的结晶相主要是Ta_2N。 相似文献
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桩筏基础理论新成果在设计实践中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
近年来有关桩土共同作用的研究越来越引起人们的重视,并且取得了许多研究成果,但直接将这些理论成果应用于设计实践的例子并不多见。本文详细介绍了南通市中南大厦(25层)的土层地质条件及桩筏基础方案分析,将这几年有关桩筏基础设计理论新成果用于本工程设计,并提供了抽桩后的电算结果。该工程设计节约建设资金110万元,这是国内不多见的桩筏基础设计实例。 相似文献
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本文全面地介绍了砖厂微机监控系统的应用范围、软硬件组成、系统功能和键盘操作等方面内容有广泛的应用价值。 相似文献
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氮化钽薄膜作为混合集成电路重要的电阻材料广泛受到人们的重视和应用。我们采用直流平面磁控反应溅射工艺制得氮化钽薄膜,实验研究了溅射过程中氮分压P_(N_2)与沉积所得的含氮钽薄膜的结晶相结构和薄膜电阻率ρ、电阻温度系数TCR之间的关系。发现 相似文献
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冻结法工程施工中冻胀和融沉问题的分析与研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文主要讨论地下土木工程中使用冻结法施工引起的冻胀和融沉工程问题,从岩土工程的角度介绍冻结土的形成及其工程力学性质。较为全面的阐述冻结土的岩土工程设计及施工特点。 相似文献
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本文研究了具有时变不确定性广义LUR’E=POSTNIKOV系统的渐近稳定性问题,在一定条件下给出了该类系统可通过状态反馈实现渐近稳定的充分条件。 相似文献