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1.前言随着近代技术的高度发展和生活方式的变化,需要洁净室的地方正在急剧增加。具有各种固定散尘源的工作空间,大型建筑物或地下街道,需要高洁净度的医院手术室,检验室或微生物实验设施,尤其在工业领域内除胶片厂、发酵厂之外,特别是最近在大规模集成电路(LSI)制造工艺中,要求高度的洁净空间。为形成这种洁净空间的大部 相似文献
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