柠檬酸对CeO2磨料分散稳定性及抛光性能的影响

采用柠檬酸作为pH调节剂和分散剂,针对CeO₂磨料水溶液的分散性差以及浅沟槽隔离(STI)化学机械抛光(CMP)过程中正硅酸乙酯(TEOS)/氮化硅(Si₃N₄)的去除速率选择性难以控制的问题进行了研究。分散实验结果表明,由于柠檬酸可以结合在CeO₂颗粒表面从而极大提高了CeO₂磨料的空间位阻,CeO₂溶液的分散稳定性得到提升,因此,与酒石酸、硝酸和磷酸相比,在CeO₂溶液中使用柠檬酸作为pH调节剂,可以使CeO₂磨料具有更小的粒径和较低的分散度以及使CeO₂溶液具有较高绝对值的Zeta电位。抛光实验结果表明,柠檬酸可以极大抑制Si₃N₄的去除速率,且对TEOS的去除速率影响较小,因此,使用柠檬酸作为pH调节剂和分散剂能实现TEOS/Si₃N₄的高去除速率选择比。同时抛光后TEOS和Si₃N₄薄膜具有良好的表面形貌和低的表面粗糙度。     

深圳地区某公共建筑活动外遮阳自然采光效果分析

通过对深圳地区某公共建筑活动外遮阳在不同工况(0°、45°和90°)下自然采光效果进行模拟分析,同时选择典型功能房间进行实测分析,分析活动外遮阳对公共建筑自然采光效果的影响,并得出活动式外遮阳是解决公共建筑遮阳和采光矛盾的有效措施.     

暖通空调联合站房运行诊断与节能改造浅析——以武汉某工业园区项目为例

为实现武汉市某工业园区项目的节能运行,从项目层面响应国家“2030+2060”的双碳战略,为促进社会的节能减排尽一份微薄之力,项目团队于2020年6月～2020年7月期间,至本项目现场,对其联合站房冷源系统的运行情况进行调研：了解项目运行的情况、收集各类运行参数,深入分析项目在运行、管理过程中的各种节能潜力,并对其工艺冷冻水系统和空调冷冻水系统的节能运行给出节能技术改造方案,量化节能收益,实现年运行节能量616万kWh的节能效果,希望为其他的工业生产类项目的节能改造工作提供参考和借鉴。     

光伏热效应实验单元散热及余热利用实验研究

利用搭建的5个光伏热效能实验单元,研究了光伏组件不同散热方式对光伏组件表面温度、 建筑室内温度及发电功率的影响,同时利用空气的热压作用实现了光伏余热的直接利用.实验表明被动式外循环模式散热效果最好,开缝模式散热效果最差,被动式内循环模式余热利用效果较好.     

超滤和活性剂协同作用对铜阻挡层CMP后缺陷的控制机理研究

在铜互连阻挡层化学机械抛光(CMP)过程中,由于工艺和材料等因素会产生划伤和沾污等缺陷问题,造成器件失效、良率降低及潜在可靠性等问题.研究了抛光液中活性剂及超滤工艺对CMP后缺陷的影响,提出了活性剂和超滤协同控制CMP后缺陷的作用机理.通过粒径和大颗粒测试仪表征抛光液粒径和大颗粒数的变化,通过扫描电子显微镜(SEM)和...