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选择合适的沉积室内壁材料是热壁化学气相沉积制备Pt薄膜过程中降低前驱体在沉积室内壁上大量消耗,进而保证沉积室内Pt前驱体分压的关键。本研究对比了Pt在镍基高温合金,备选沉积室内壁材料——有氧化层的Cu以及紫铜表面的沉积的难易程度,发现在有氧化层的Cu的表面Pt薄膜很难沉积,因此当镍基高温合金为沉积基体时有氧化层的Cu可以作为热壁CVD的沉积室内壁衬底材料,但是只能一次性使用。 相似文献
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本文结合工程实例,从预应力工程中的模板工程、钢筋绑扎、预应力下料穿束、混凝土浇筑、及预应力筋张拉灌浆封锚等方面详细阐述了有粘结预应力施工技术在大跨度高截面框架梁中的应用;并对其质量控制措施及各专业施工配合方面进行了详细探讨和总结,供类似工程参考。 相似文献