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在工艺流程以及材料选择的基础上,用Coventorware和HFSS对间接加热终端式MEMS微波功率传感器进行了模拟与设计。模拟结果包括共面波导(CPW)与终端电阻上的温度分布,以及热电堆的接近对CPW性能的影响。确定了热偶对数为50,热电堆与CPW之间的距离为50μm,并选择了GaAs和Au作为热电偶的两臂,TaN作终端电阻。 相似文献
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文章介绍了在老旧300kN静重式力标准机结构的基础上对整个控制系统进行的改造.系统改造中采用西门子S7 -200可编程控制器PLC与台达人机界面完成了对整个力标准机的系统控制,另外,为了达到对电机速度进行控制而采用了欧瑞变频器,PLC与变频器的联合控制出色地完成了对系统中电机速度的调控.文中还介绍了PLC控制程序块的程序设计思路以及触摸屏控制界面.对该控制系统的改造已经完成并通过检验,证明采用这种方法对300kN静重式力标准机的改造是成功可行的,该方法具有广泛的通用性,可以对国内各个计量站的力标准机做相似的改造. 相似文献
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在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器结构和工艺的基础上,用Coventorware软件和ANSYS软件对其温度分布进行了模拟,根据热电堆的放置位置不同,分别对热电堆处于终端电阻的下方(结构A)、上方(结构B)和外侧(结构C)三种结构进行了模拟和比较,最后采用了热电堆处于终端电阻下方的结构,热电堆的热端可以测得的温度范围为417.7~419.2K。 相似文献
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以双向风扇通风房间作为实验研究和数值模拟分析的对象,通过数值模拟给出了通风扇在排风和送风两种状态下双区域房间内三维空气流场分布,并与实验结果进行对比。研究结果表明利用数值模拟建立相应模型研究复杂形式房间内气流组织是可行的。此外,研究中发现房间风扇处于送风档更有利于室内空气的流动,气流组织状况明显优于风扇开在排风档状态。研究结果可以为通风设备的安装提供参考。 相似文献
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